| 1. Identificação | |||||||||||||
| Tipo de Referência | Tese ou Dissertação (Thesis) | ||||||||||||
| Site | mtc-m21b.sid.inpe.br | ||||||||||||
| Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S | ||||||||||||
| Identificador | 8JMKD3MGP3W34P/3NAA9M5 | ||||||||||||
| Repositório | sid.inpe.br/mtc-m21b/2017/02.02.15.14 | ||||||||||||
| Última Atualização | 2017:05.16.13.12.58 (UTC) administrator | ||||||||||||
| Repositório de Metadados | sid.inpe.br/mtc-m21b/2017/02.02.15.14.39 | ||||||||||||
| Última Atualização dos Metadados | 2018:06.04.02.27.19 (UTC) administrator | ||||||||||||
| Chave Secundária | INPE-17819-TDI/2557 | ||||||||||||
| Chave de Citação | Silva:2017:EsEfIm | ||||||||||||
| Título | Estudo dos efeitos de implantação iônica, sputtering e deposição em diferentes materiais causados pela implantação iônica por imersão em plasma (IIIP) no interior de tubos condutores  | ||||||||||||
| Título Alternativo | Study of effects of ion implantation, sputtering and deposition in different materials caused by plasma immersion ion implantation (PIII) inside metal tubes | ||||||||||||
| Curso | CMS-ETES-SESPG-INPE-MCTIC-GOV-BR | ||||||||||||
| Ano | 2017 | ||||||||||||
| Data | 2017-02-23 | ||||||||||||
| Data de Acesso | 18 maio 2024 | ||||||||||||
| Tipo da Tese | Dissertação (Mestrado em Ciência e Tecnologia de Materiais e Sensores) | ||||||||||||
| Tipo Secundário | TDI | ||||||||||||
| Número de Páginas | 209 | ||||||||||||
| Número de Arquivos | 1 | ||||||||||||
| Tamanho | 11124 KiB | ||||||||||||
| 2. Contextualização | |||||||||||||
| Autor | Silva, Carla da | ||||||||||||
| Banca | Ueda, Mario (presidente/orientador) Mello, Carina Barros (orientadora) Berni, Luiz Angelo Silva, Maria Margareth da | ||||||||||||
| Endereço de e-Mail | carla.sjc@gmail.com | ||||||||||||
| Universidade | Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) | ||||||||||||
| Cidade | São José dos Campos | ||||||||||||
| Histórico (UTC) | 2017-02-02 16:25:37 :: carla.silva@inpe.br -> yolanda.souza@mcti.gov.br :: 2017-02-03 15:39:45 :: yolanda.souza@mcti.gov.br -> administrator :: 2017-02-06 12:00:27 :: administrator -> carla.silva@inpe.br :: 2017-04-03 14:24:01 :: carla.silva@inpe.br -> yolanda.souza@mcti.gov.br :: 2017-04-03 16:07:39 :: yolanda.souza@mcti.gov.br -> carla.silva@inpe.br :: 2017-04-03 19:02:17 :: carla.silva@inpe.br -> yolanda.souza@mcti.gov.br :: 2017-04-03 19:28:10 :: yolanda.souza@mcti.gov.br -> administrator :: 2017-05-16 12:42:00 :: administrator -> yolanda :: 2017-05-16 12:42:23 :: yolanda -> yolanda.souza@mcti.gov.br :: 2017-05-16 12:53:53 :: yolanda.souza@mcti.gov.br -> marcelo.pazos@inpe.br :: 2017-05-16 17:39:23 :: marcelo.pazos@inpe.br -> administrator :: -> 2017 2018-06-04 02:27:19 :: administrator -> :: 2017 | ||||||||||||
| 3. Conteúdo e estrutura | |||||||||||||
| É a matriz ou uma cópia? | é a matriz | ||||||||||||
| Estágio do Conteúdo | concluido | ||||||||||||
| Transferível | 1 | ||||||||||||
| Palavras-Chave | implantação iônica por imersão em plasma sputtering deposição no interior de tubos metálicos plasma immersion ion implantation deposition inside metal tubes | ||||||||||||
| Resumo | Tratamentos superficiais foram realizados utilizando a implantação iônica por imersão em plasma (3IP), na presença de sputtering e deposição no interior de tubos metálicos visando, em particular, o estudo dos efeitos do sputtering. Entre várias configurações possíveis usando descarga luminescente em tubos condutores, este estudo foi realizado utilizando descarga de catodo oco como fonte de plasma, onde o catodo tem uma ou duas extremidades abertas. Estas configurações permitiram o estudo do plasma com alto confinamento e densidade, além dos tratamentos da superfície do interior de tubos metálicos cilíndricos para diferentes aplicações. Tubos de aço inoxidável de 16, 11, 4 e 1,1 cm de diâmetro e tubo de Ti-6Al-4V de 1,1 cm de diâmetro foram utilizados como catodo oco. Amostras de aço inoxidável 304, Ti-6Al-4V, titânio puro e lâminas de silício (utilizadas como monitor) dispostas no interior (e as vezes fora) dos tubos foram tratadas com 3IP de nitrogênio ou argônio visando melhores propriedades superficiais. As amostras foram caracterizadas por Difração de Raio-X, Microscopia Eletrônica de Varredura, Perfilometria óptica, Microscopia Eletrônica de Varredura por Emissão de Campo, ensaios de tribologia tipo pino-sobre-disco, indentação instrumentada e espectroscopia por elétrons Auger. Os resultados destas análises mostraram modificações superficiais mais expressivas para os casos de descargas de catodo oco com uma extremidade fechada. Observou-se também nas amostras de silício que ocorreu deposição significativa de material removido da parede interna do tubo. A densidade do plasma apresentou a tendência de ser inversamente proporcional ao diâmetro do tubo, para uma determinada potência aplicada, o que resultou no aumento da temperatura do tubo quando se diminuiu o seu diâmetro. A utilização de uma tampa condutora numa das extremidades do tubo resultou em um plasma de catodo oco mais denso e estável. No tubo de menor diâmetro testado (1,1 cm) notou-se que houve a sobreposição da bainha, o que provavelmente reduziu a energia recebida pelos íons de nitrogênio. Nem a adição da tampa resolveu neste caso, sendo talvez possível reverter o caso com a aplicação de maior potência no pulso. Além de melhor compreensão dos processos de implantação, sputtering e deposição em 3IP de tubos condutores, a presente tese permitiu que o aumento da temperatura máxima obtida com essas descargas possibilitasse tratamentos em batelada de amostras de titânio e suas ligas com implantação de nitrogênio, obtendo-se TiN e Ti$_{2}$N. ABSTRACT: Aiming the study of sputtering effects, several surface treatments have been performed using plasma immersion ion implantation (PIII), in the presence of sputtering and deposition inside metal tubes. Among several possible configurations using glow discharges in conductive pipes, this study have been conducted using a hollow cathode as the plasma source, where the cathode has one or two open ends. These configurations allowed the study of plasmas with high confinement and density, in addition to the treatments of the inner surface of cylindrical metal tubes for different applications. Stainless steel tubes with 16, 11, 4 and 1.1 cm of diameter and Ti-6Al-4V tube with 1.1 cm of diameter were utilized as the hollow cathodes. Samples of stainless steel AISI304, Ti-6Al-4V, pure titanium and silicon wafer (used as monitors) placed inside (and sometimes outside) the tubes were treated by nitrogen or argon PIII aiming better surface properties. The specimens were characterized by x-ray diffraction, scanning electron microscopy, optical profilometry, field emission scanning electron microscopy, pin-on-disk tribology tests, instrumented indentation and Auger electron spectroscopy. The results showed significant surface modifications for discharges in the hollow cathode with one closed end. It was also observed by silicon samples that occurred significant deposition of sputtered material in the tube inner wall. The plasma density exhibit the tendency of being inversely proportional to the tube diameter, for a determined applied power. PIII tests also showed an increase of the tube temperature, by decreasing its diameter. Using a conductive lid in one of the tube ends resulted in a denser and more stable hollow cathode plasma. In the smallest diameter tube tested (1.1 cm), it was noticed that the sheaths overlapping occurred, which probably reduced the energy of nitrogen ions being implanted. The addition of a lid did not solve this problem but it could be possible to reverse the case with a higher power high voltage pulser application. In addition to a better understanding of the ion implantation processes, sputtering and PIII deposition in conductive pipes, the present dissertation allowed the increase of the maximum temperatures obtained in such discharges, making it possible to carry out batch treatment of titanium samples and its alloys by nitrogen implantation, obtaining TiN and Ti$_{2}$N phases. | ||||||||||||
| Área | ETES | ||||||||||||
| Arranjo | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção pgr ATUAIS > CMS > Estudo dos efeitos... | ||||||||||||
| Conteúdo da Pasta doc | acessar | ||||||||||||
| Conteúdo da Pasta source |
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| Conteúdo da Pasta agreement |
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| 4. Condições de acesso e uso | |||||||||||||
| URL dos dados | http://mtc-m21b.sid.inpe.br/ibi/8JMKD3MGP3W34P/3NAA9M5 | ||||||||||||
| URL dos dados zipados | http://mtc-m21b.sid.inpe.br/zip/8JMKD3MGP3W34P/3NAA9M5 | ||||||||||||
| Idioma | pt | ||||||||||||
| Arquivo Alvo | publicacao.pdf | ||||||||||||
| Grupo de Usuários | carla.silva@inpe.br marcelo.pazos@inpe.br yolanda.souza@mcti.gov.br | ||||||||||||
| Grupo de Leitores | administrator carla.silva@inpe.br marcelo.pazos@inpe.br yolanda yolanda.souza@mcti.gov.br | ||||||||||||
| Visibilidade | shown | ||||||||||||
| Licença de Direitos Autorais | urlib.net/www/2012/11.12.15.10 | ||||||||||||
| Detentor da Cópia | SID/SCD | ||||||||||||
| Permissão de Leitura | allow from all | ||||||||||||
| Permissão de Atualização | não transferida | ||||||||||||
| 5. Fontes relacionadas | |||||||||||||
| Repositório Espelho | sid.inpe.br/mtc-m21b/2013/09.26.14.25.22 | ||||||||||||
| Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3F358GL | ||||||||||||
| Acervo Hospedeiro | sid.inpe.br/mtc-m21b/2013/09.26.14.25.20 | ||||||||||||
| 6. Notas | |||||||||||||
| Campos Vazios | academicdepartment affiliation archivingpolicy archivist callnumber contenttype creatorhistory descriptionlevel dissemination doi electronicmailaddress format group isbn issn label lineage mark nextedition notes number orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype url versiontype | ||||||||||||